Message for the 2017 UN DESA Energy Grant by Mr. Wu ...

•USG作為STI應用.•USG和FSG作為IMD應用.USG和FSG作為IMD應用.•PMD作為PMD應用.65.Page66.介電質薄膜的特性.•折射率.•厚度.•均勻性.•應力.• ...,•在STI形成過程中氧氣被使用在USG退火上.•低等級的氮氣使用在閒置時的吹除淨化...USGCMP;USGAnneal;NitrideandPadOxideS...。參考影片的文章的如下：

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納米武林基本功哼哈二將與銅釘出土及銀樣蠟槍頭Thin film and STI ...
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stiusg

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